ICS 23.160 J78 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T40333—2021/ISO14291:2012 真空计 四极质谱仪的定义与规范 Vacuum gauges-Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers (ISO14291:2012,IDT) 2021-05-21发布 2021-12-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T40333—2021/ISO14291:2012 目 次 前言 引言 1范围 2术语和定义 2.1部组件 2.2物理参数 3 符号和缩略语 4 四极质谱仪的原理 5 制造商提供的四极质谱仪说明书 5.1 质量范围 5.2 离子源类型 5.3 离子检测器类型 5.4 质量分辨率 5.5 质量数稳定性 5.6 灵敏度 5.7 线性响应范围 5.8 最小可检分压力 5.9 最小可检浓度 5.10 最大工作压力 10 5.11 扫描参数 0 5.12 信号输出 10 5.13 电位 10 5.14 检测器技术规范 5.15 设定值 10 5.16 最高烘烤温度 10 5.17 标称工作环境 5.18 预热时间 5.19 灯丝材料 5.20 电子放射电流 5.21 更换灯丝 5.22 更换检测器 11 5.23 腔室接口 5.24 安装方向 11

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