ICS 29.045 H 80 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 24575—2009 硅和外延片表面 Na、Al、K 和Fe的二次离子质谱检测方法 Test method for measuring surface sodium ,aluminum, potassium, and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry 2009-10-30发布 2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会中国标准出版社授权北京万方数据股份有限公司在中国境内（不含港澳台地区)推广使用

GB-T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

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