GB-T 25915.17-2024洁净室及相关受控环境 第17部分粒子沉积速率应用

ICS 13.040.35 CCS C 70 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T 25915.17—2024/ISO 14644-17:2021 洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 17 :Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021,IDT) 2024-08-23发布 2025-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T 25915.17—2024/ISO 14644-17:2021 目次前言 II 引言 IV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义符号 5 粒子沉积速率使用方法 6 粒子沉积速率的测量 7 粒子沉积速率水平 8 记录附录A（资料性）粒子沉积速率的测量附录B（资料性）粒子沉积速率测量示例附录C（资料性）粒子遮蔽速率的测量 12 附录D（资料性）粒子沉积速率与悬浮粒子浓度之间的关系 15 附录E（资料性）粒子沉积的评估与控制参考文献 19

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