ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T14600—2025 代替GB/T14600—2009 电子气体 一氧化二氮 Electronicgas—Nitrousoxide 2025-04-25发布 2025-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T14600—2009《电子工业用气体 氧化亚氮》,与GB/T14600—2009相比,除结 构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: ———更改了范围(见第1章,2009年版的第1章); ———更改了一氧化二氮应符合的技术要求(见第4章,2009年版的第3章); ———更改了采样的要求(见第5章,2009年版的4.1.2); ———更改了纯度计算方法(见6.1,2009年版的4.2); ———更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法(见6.2,2009年版的4.5、4.7、4.8); ———增加了氢含量的测定方法(见6.2); ———更改了总烃含量的测定方法(见6.3,2009年版的4.6); ———更改了氨含量的测定方法(见6.4,2009年版的4.4); ———更改了一氧化氮、二氧化氮含量的测定方法(见6.5,2009年版的4.9、4.10); ———更改了水分含量的测定方法(见6.6,2009年版的4.11); ———更改了尾气处理的要求(见6.7,2009年版的4.3); ———更改了检验规则(见第7章,2009年版的4.1.1); ———更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2009年版的5.1); ———更改了安全信息的内容(见8.3,2009年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、宿州伊维特新材料有限公司、重庆同辉气体有限 公司、福建优力特材料科技有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、江苏华中气体有限公司、上海亿钶气 体股份有限公司、福建德天宸新材料科技有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有 限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体 股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气(中国) 投资有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连 大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、中海 油能源发展股份有限公司安全环保分公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限 公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、上海凡伟仪器设备有限公司、 西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:胡迎、谈益强、黄加斗、尹乐乐、刘川、叶颖恒、吴攀、吴俊睆、栗广奉、许胜霞、 文瞳媛、石刻山、吴桐、栗鹏伟、潘振环、陈雅芬、汤萍、史兰、寻虎、李文博、赵丙倩、王蒙蒙、陈艳珊、吕磊、 刘丹、孙福楠、郭琼、殷昊、朱安民、蒋昊、葛修杰、王见见、侯丽莹、吴晓良、黄辉、张体强、王振、尚柏羊、 王军锋、何睿、蒋宏达、宫兵、王大为、张静、赵洁、杨扬仲夫、何波、唐中伟、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅。 本文件于1993年首次发布,2009年第一次修订,本次为第二次修订。 ⅠGB/T14600—2025