书 书 书犐犆犛 １３ ． ０４０ ． ３０ 犆 ７０ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３３５５５ — ２０１７ 洁净室及相关受控环境静电控制技术指南 犆犾犲犪狀狉狅狅犿犪狀犱犪狊狊狅犮犻犪狋犲犱犮狅狀狋狉狅犾犾犲犱犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋狊狋犲犮犺狀犻犮犪犾犵狌犻犱犲犾犻狀犲狊狅犳犲犾犲犮狋狉狅狊狋犪狋犻犮犱犻狊犮犺犪狉犵犲犮狅狀狋狉狅犾 ２０１７  ０５  １２ 发布 ２０１７  ０９  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 /G21 /G22 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… /G23 /G22 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 /G24 /G25 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 /G26 /G24 /G27 /G23 /G28 /G29 /G2A １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 /G30 /G31 /G32 /G33 ２ ………………………………………………………………………………………………… ５ 　 /G34 /G35 /G36 /G26 /G24 ７ ……………………………………………………………………………………………… /G37 /G38 Ａ （ /G39 /G3A /G27 /G37 /G38 ） 　 /G3B /G30 /G31 /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G27 /G43 ８ …………………………………………………… /G44 /G45 /G29 /G46 ９ ……………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３３５５５ — ２０１７ /G23 　　 /G24 　　 /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G4C /G4D /G4E /G26 /G4F /G50 /G51 。 /G47 /G48 /G49 /G52 /G53 /G54 /G3C /G3D /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G32 /G5A /G5B /G48 /G49 /G5C /G5D /G2B /G5E /G5F /G60 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ３１９ ） /G61 /G4D /G62 /G63 /G64 。 /G47 /G48 /G49 /G50 /G51 /G65 /G66 ： /G67 /G31 /G68 /G3E /G69 /G6A /G6B /G6C /G6D /G6E /G2E /G67 /G6F 、 /G70 /G71 /G72 /G73 /G74 /G3D /G75 /G5D /G76 /G77 /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /G67 /G72 /G7C /G7D （ /G70 /G71 ） /G3C /G3D /G5D /G2B /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /G67 /G54 /G31 /G7E /G7F /G60 /G3C /G3D /G5D /G2B /G80 /G60 、 /G67 /G54 /G48 /G49 /G5C /G81 /G60 、 /G67 /G54 /G31 /G7E /G82 /G83 /G84 /G85 /G81 /G60 /G3B /G30 /G31 /G86 /G87 /G80 /G60 、 /G88 /G89 /G8A /G85 /G3B /G30 /G31 /G8A /G8B /G8C /G8D /G8E /G8F /G6C /G90 /G67 /G6F 、 /G91 /G92 /G93 /G94 /G95 /G96 /G3E /G69 /G5D /G2B /G7A /G7B 、 /G91 /G92 /G95 /G96 /G97 /G98 /G8E /G99 /G78 /G79 /G9A /G9B /G7A /G7B 、 /G9C /G9D /G9E /G9F /G72 /G3D /G5C /G5D /G2B /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /GA0 /GA1 /GA2 /GA3 /G3B /G30 /G31 /G86 /G87 /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /GA4 /GA5 /GA6 /GA7 /GA8 /GA9 /G5C /G3E /G78 /G79 /G7A /G7B 、 /G9C /G9D /G9E /GAA /G96 /GAB /G30 /G31 /G5D /G2B /G78 /G79 /G7A /G7B 。 /G47 /G48 /G49 /G41 /G42 /G50 /G51 /GAC ： /GAD /GAE 、 /GAD /GAF /GB0 、 /GB1 /GB2 /GB3 、 /GB4 /GB5 /GB6 、 /GB7 /GB8 /G73 、 /GB9 /G7E /GBA 、 /GBB /GBC /GBD 、 /GBE /GBF /GC0 、 /GC1 /GC2 /GB6 、 /GC3 /GC4 /GC5 、 /GC6 /GC7 /GC8 、 /GC9 /GCA /GCB 、 /GCC /GCD /GCE 、 /G70 /GCF /GD0 、 /GC6 /GD1 、 /GAD /GD2 /GB6 、 /GAD /GD3 、 /GBE /GD4 /GD5 、 /GD6 /GCE /GD7 、 /GD8 /GBC /GD5 、 /GD9 /GDA /GDB 。 Ⅲ 犌犅 ／ 犜 ３３５５５ — ２０１７ /G25 　　 /G24 　　 /G3C /G3D /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G32 /G5A /G5B /G4E /GDC /GDD /GDE /GDF /GE0 /GE1 /GE2 /G7E /GDC /GDD （ /G32 /G33 /G3C /G3D /GE3 ）、 /GDB /GE4 /GDC /GDD （ /G32 /G33 /GE5 /GE6 /GE7 ＣＦＵ ）、 /GE8 /GE9 /G80 /G7E /GDC /GDD （ /G32 /G33 /G5A /G5B /G67 １０ /G9F /GEA /GEB /GEC /G9F /GEA /GED /G8D /GE9 /G57 /GEE /G27 、 /GEF /G27 、 /G78 /GF0 /G56 /GF1 /GF2 /GE4 /G8C ）、 /G30 /G31 /GDC /GDD （ /G30 /G31 /GF3 /G31 /G2D /G30 /G31 /GF4 /G31 ） /GF5 。 /G30 /G31 /GDC /GDD /GF6 /GF7 /GF8 /GF9 /GFA /G4E /GFB /GFC ， /G30 /G31 /GFD /G8A /GDB “ /GFE /G7F /GFF /G21 ” /G43 /G22 /G37 /G23 /G24 /GE2 /G7E ， /G25 “ /GF4 /G31 /GFF /G21 ” /G2D “ /G26 /G21 /GFF /G21 ” /G27 /G28 /G29 /G2A /G31 /G7E /G2B /G83 /G2A /G8A /G8B （ /GED /G31 /G7E /G2C /G2D 、 /G80 /G2E /G2F /G30 /G31 /G83 /G2A 、 /G32 /G33 /G2D /G34 /G33 /G31 /G35 、 /G36 /G37 /G83 /G2A 、 /G38 /G39 /G2C /G2D /G3A /G56 /G3B /G31 /G3C /GF5 ） /G3D /G7D /G3E /G3F ； /G2A /G3C /G3D /G55 /G98 /G40 /G3D /G7D /G41 /G3F （ /G42 /G31 /GE9 、 /G3C /G7C /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 ）。 /G88 /G89 /G8A /G85 （ /G42 /GED /G31 /G7E 、 /G49 /G31 /G7E ……）、 /G4A /G72 /G4A /GE8 /G85 （ /G42 /GAF /G4B /GF0 、 /G4A /G72 /G83 ……） /G4E /G30 /G31 /GDC /GDD /G32 /G33 /G5D /G2B /G59 /G4C /G4D /GE3 /G28 /GFA /G2D /G4E /G4F /G21 /G28 。 Ⅳ 犌犅 ／ 犜 ３３５５５ — ２０１７ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G2D /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 １ 　 /G37 /G38 /G47 /G48 /G49 /G4C /G4D /G50 /G3C /G3D /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G32 /G5A /G5B /G32 /G33 /G30 /G31 /G4E /G2B /G2