ICS31.030 CCSQ65 中华人民共和国国家标准 GB/T46611—2025 电光调制器用铌酸锂单晶薄膜 Lithiumniobatesingle-crystalthinfilmforelectro-opticmodulator 2025-10-31发布 2026-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅴ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 要求 3 ……………………………………………………………………………………………………… 4.1 外观质量 3 …………………………………………………………………………………………… 4.2 薄膜层表面晶向允差 5 ……………………………………………………………………………… 4.3 键合偏转角度允差 5 ………………………………………………………………………………… 4.4 键合强度 5 …………………………………………………………………………………………… 4.5 光学均匀性 5 ………………………………………………………………………………………… 4.6 线性电光系数 5 ……………………………………………………………………………………… 4.7 单畴化程度 5 ………………………………………………………………………………………… 4.8 衬底电阻率 5 ………………………………………………………………………………………… 5 检测方法 6 ………………………………………………………………………………………………… 5.1 检测环境 6 …………………………………………………………………………………………… 5.2 总厚度 6 ……………………………………………………………………………………………… 5.3 总厚度变化 6 ………………………………………………………………………………………… 5.4 局部厚度变化和局部厚度变化率 6 ………………………………………………………………… 5.5 边缘区宽度 6 ………………………………………………………………………………………… 5.6 表面外观质量 6 ……………………………………………………………………………………… 5.7 17点平均厚度允差和17点厚度变化 6 …………………………………………………………… 5.8 弯曲度 6 ……………………………………………………………………………………………… 5.9 正表面粗糙度 6 ……………………………………………………………………………………… 5.10 薄膜层表面晶向允差 6 ……………………………………………………………………………… 5.11 键合偏转角度允差 6 ………………………………………………………………………………… 5.12 键合强度 6 …………………………………………………………………………………………… 5.13 光学均匀性 7 ………………………………………………………………………………………… 5.14 线性电光系数 7 ……………………………………………………………………………………… 5.15 单畴化程度 7 ………………………………………………………………………………………… 5.16 衬底电阻率 7 ………………………………………………………………………………………… 6 检查与验收规则 7 ………………………………………………………………………………………… 6.1 检查与验收 7 ………………………………………………………………………………………… 6.2 检验分类 7 …………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T46611—2025 6.3 检验项目 7 …………………………………………………………………………………………… 6.4 批次检验 8 …………………………………………………………………………………………… 6.5 周期检验 9 …………………………………………………………………………………………… 7 包装、标签/标志、储存和运输 9 …………………………………………………………………………… 7.1 包装 9 ………………………………………………………………………………………………… 7.2 标签/标志 10 ………………………………………………………………………………………… 7.3 储存 10 ………………………………………………………………………………………………… 7.4 运输 10 ………………………………………………………………………………………………… 附录A(规范性) 键合偏转角度的测量方法 11 …………………………………………………………… A.1 测量目的 11 ………………………………………………………………………………………… A.2 测量方法 11 ………………………………………………………………………………………… A.3 测量环境 11 ………………………………………………………………………………………… A.4 测量仪器 11 ………………………………………………………………………………………… A.5 测量原理 11 ………………………………………………………………………………………… A.6 测量步骤 12 ………………………………………………………………………………………… A.7 数据处理 12 ………………………………………………………………………………………… 附录B (规范性) 光学均匀性的测量方法 13 …………………………………………………………… B.1 测量目的 13 …………………………………………………………………………………………… B.2 测量方法 13 …………………………………………………………………………………………… B.3 测量环境 13 …………………………………………………………………………………………… B.4 测量仪器 13 …………………………………………………………………………………………… B.5 测量原理 13 …………………………………………………………………………………………… B.6 测量步骤 14 …………………………………………………………………………………………… B.7 数据处理 14 …………………………………………………………………………………………… 附录C(规范性) 线性电光系数的测量方法 15 …………………………………………………………… C.1 测量目的 15 …………………………………………………………………………………………… C.2 测量方法 15 …………………………………………………………………………………………… C.3 测量环境 15 …………………………………………………………………………………………… C.4 测量仪器 15 …………………………………………………………………………………………… C.5 测量原理 15 …………………………………………………………………………………………… C.6 测量步骤 16 …………………………………………………………………………………………… C.7 数据处理 16 …………………………………………………………………………………………… 附录D(规范性) 单畴化程度的测量方法 17 ……………………………………………………………… D.1 测量目的 17 …………………………………………………………………………………………… D.2 测量方法 17 …………………………………………………………………………………………… D.3 测试环境 17 …………………………………………………………………………………………… D.4 测量仪器 17 …………………………………………………………………………………………… ⅡGB/T46611—2025 D.5 测量原理 17 …………………………………………………………………………………………… D.6 测量步骤 17 …………………………………………………………………………………………… D.7 数据处理 17 …………………………………………………………………………………………… ⅢGB/T46611—2025 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国建筑材料联合会提出。 本文件由全国人工晶体标准化技术委员会(SAC/TC461)归口。 本文件起草单位:济南晶正电子科技有限公司、上海新硅聚合半导体有限公司、中国科学院半导体 研究所、华中科技大学、武汉安湃芯研科技有限公司、中国科学院新疆理化技术研究所、珠海光库科技股 份有限公司、广州铌奥