ICS 77.140.99 H 58 中华人民共和国国家标准 GB/T38940—2020 硅组件用精密封接合金 Precision expansion alloys for sealing to silicon and silicon components 2020-12-01实施 2020-06-02发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T38940—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国钢铁工业协会提出。 本标准由全国钢标准化技术委员会（SAC/TC183）归口。 本标准起草单位：钢铁研究总院、北京空间机电研究所、中国航空工业集团公司西安飞行自动控制 研究所、冶金工业信息标准研究院。 本标准主要起草人：张敬霖、于一鹏、马逵、梁璞、戴强、张建福、张习文、颜丞铭、霍登平 GB/T38940—2020 硅组件用精密封接合金 1范围 本标准规定了硅组件用精密封接合金的订货内容、分类和代号、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方 法、检验规则、包装、标志和质量证明书。 本标准适用于电真空、半导体工业及其他应用环境中，与硅组件等进行键合、匹配封接的铁镍基、铁 镍钻基定膨胀封接合金棒材、扁材、箔材、带材、丝材、管材（以下简称合金材）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T222—2006钢的成品化学成分允许偏差 GB/T223.5钢铁酸溶硅和全硅含量的测定还原型硅钼酸盐分光光度法 GB/T 223.19 钢铁及合金化学分析方法新亚铜灵-三氯甲烷萃取光度法测定铜量 GB/T 223.20 钢铁及合金化学分析方法电位滴定法测定钻量 GB/T223.25 钢铁及合金化学分析方法丁二酮重量法测定镍量 GB/T 223.40 钢铁及合金含量的测定氯磺酚S分光光度法 GB/T 223.60 钢铁及合金化学分析方法高氯酸脱水重量法测定硅含量 GB/T 223.62 钢铁及合金化学分析方法乙酸丁酯萃取光度法测定磷量 GB/T 223.64 钢铁及合金锰含量的测定火焰原子吸收光谱法 GB/T 223.79 钢铁多元素含量的测定X-射线荧光光谱法（常规法） GB/T 223.85 钢铁及合金硫含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法 GB/T 223.86 钢铁及合金总碳含量的测定 感应炉燃烧后红外吸收法 GB/T 2970 厚钢板超声检测方法 GB/T4162—2008锻轧钢棒超声检测方法 GB/T 4339 金属材料热膨胀特征参数的测定 GB/T 5777 无缝和焊接（埋弧焊除外）钢管纵向和/或横向缺欠的全圆周自动超声检测 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 11170 不锈钢多元素含量的测定火花放电原子发射光谱法（常规法） GB/T14985—2007J 膨胀合金尺寸、外形、表面质量、试验方法和检验规则的一般规定 GB/T20066钢和铁化学成分测定用试样的取样和制样方法 GB/T20123 钢铁总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧后红外吸收法（常规方法） GB/T20125 低合金钢多元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法 GB/T22368 低合金钢多元素含量的测定辉光放电原子发射光谱法（常规法） GB/T38938—2020 高强度低膨胀合金 GB/T38939 镍基合金多元素含量的测定火花放电原子发射光谱分析法（常规法） YB/T5242 精密合金包装、标志和质量证明书的一般规定 YB/T5321—2006膨胀合金气密性试验方法 1 GB/T38940—2020 3订货内容 按本标准订购的合同或订单至少应包括下列内容： a) 本标准编号； b) 产品名称； c) 牌号； d) 交货状态； e) 尺寸及允许偏差； f) 重量或数量； g) 其他特殊要求。 4分类和代号 4.1 合金材按软硬程度可分为： a） 软态（S)； b）硬态(H)。 4.2合金材按加工方法可分为： a）冷拉(WCD); b) 冷拉磨光(WCDG)； 热轧（锻）态（WH）。 5尺寸、外形和重量 合金材的尺寸、外形、重量及允许偏差应符合GB/T14985一2007的有关规定。 6技术要求 6.1月 牌号和化学成分 合金的牌号和化学成分（熔炼分析和成品分析）应符合表1的规定。在满足本标准规定的情况下， 允许镍、钻、锯、铜的化学成分偏离表1规定，但应满足GB/T222一2006中表3的规定。 表1牌号和化学成分 合金 化学成分（质量分数）/% 牌号 C Si Mn P S Ni Co Nb Cu Fe 29.50~ 13.00~ 0.20~ 0.30~ 4J330 ≤0.030 ≤0.30 ≤0.40 ≤0.020 ≤0.020 余量 30.50 14.20 0.30 0.50 0.30~ 38.0~ 4J339 ≤0.030 ≤0.50 ≤0.020 ≤0.020 ≤0.020 余量 0.60 40.0 为改善合金性能，允许加人适量Ce、La元素。 2