ICS 31.550 L 95 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 29845—2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、 拆包及安放导则 Guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T29845—2013 目 次 前言 1 范围 规范性引用文件 3 缩略语 清洁和包装材料 装配和预包装程序 三层包装 包装程序 装箱程序 包装和固定程序 10 监控设备安装程序 11 标记和标签 12 装箱单· 13 运输· 14 卸载、拆箱和搬运 15 检查· GB/T29845—2013 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司 本标准主要起草人：黄英华、刘军、吴良军、钟华、周历群、冯亚彬 GB/T29845—2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、 拆包及安放导则 1范围 本标准给出了半导体制造设备（SME）在供应商工厂的最终装配（总装）、包装、运输以及在客户洁 净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。 本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配（总装）、包装和运输以 及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。 本标准不包含与环境、健康和安全（EHS）相关的特殊要求，也不适用于与晶片粒子或晶片质量（如 离子污染度）相关的加工过程规范。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 SEMIC412-丙醇的规范和指南（Specification andGuidelines for 2-propanol) SEMIF63半导体加工用超纯水指南（GuidelinesforUltrapure WaterUsed inSemiconductor processing) 3 缩略语 下列缩略语适用于本文件。 APA：美国工程木材协会（theengineeredwoodassociation） EPS：发泡聚苯乙烯（expandedpolystyrene） IPA：异丙醇（isopropylalcohol） SME：半导体制造设备（semiconductormanufacturing equipment) UPW：超纯水（ultrapurewater） 4清洁和包装材料 对于清洁和三层包装，建议使用下列材料： UPW(参见SEMIF63); IPA(参见 SEMIC41); 一 允许的棉签和带封边的擦拭市； 具有超低的颗粒产生，超低的离子析出水平，无碳氢化合物的，约150um厚的天然聚乙烯 薄膜； 一具有超低的颗粒产生的胶带。 1